[发明专利]一种振幅/位相混合型计算全息板及其制备方法有效
| 申请号： | 201911383971.8 | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111103758B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王若秋;张志宇;尹小林;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G02B5/32 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明的振幅/位相混合型CGH的制备方法，先在基底表面镀铬，涂胶，对检测区域采用激光直写技术进行曝光显影，并通过湿法刻蚀去掉检测区域的铬层；再重新涂胶，此时检测区域只有光刻胶附着在表面，对准区域为铬层加光刻胶，利用激光直写技术将完整的CGH结构曝光、显影，湿法刻蚀将对准区域的微纳结构转移到了铬层上；之后遮挡对准区域，干法刻蚀检测区域，将检测区域的微纳结构转移到基底上；最后去掉光刻胶。本发明的制备方法使对准区域和检测区域的微纳结构同时生成，降低加工工艺的复杂度，避免分次加工会引入的套刻误差；制备的振幅/位相混合型CGH在对准区域的反射光路及检测区域的透射光路中都实现了高衍射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振幅 位相 混合 计算 全息 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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