[发明专利]一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉有效
| 申请号： | 201911366410.7 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111235627B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 吴春生;罗汉昌;朱其欢 | 申请（专利权）人： | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉，调节装置包括基座、被连接件，还包括具有通孔的调节螺钉、安装在调节螺钉上方的调节拨叉、锁紧垫片及锁紧螺钉；通过锁紧垫片及锁紧螺钉将被连接件与基座进行连接及锁紧，达到自锁防松的目的，避免以后因机械振动等原因影响设备的水平度；硅单晶炉的四个角分别采用此水平调节机构，通过对四个边角水平高度的微调，实现最终各个部件及设备整体的调平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅单晶炉 水平 调节 装置 | ||
【主权项】：
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