[发明专利]带有超声波螺母的解耦型双作用锁紧气缸

摘要

一种带有超声波螺母的解耦型双作用锁紧气缸，旨在解决当前双作用气缸定位精度低的问题。由超声波螺母组件、前端盖、缸筒、活塞组件、后端盖、螺纹连接机构和运动解耦组件组成，本发明通过超声波螺母组件中的压电片产生的超声振动减摩效应及螺纹自锁连接，不仅解决了传统双作用气缸无法定位或定位精度低的技术问题，而且可有效提升活塞杆在运动过程中的轴向精确度，大幅度提高双作用气缸运行的稳定性，可进一步提升双作用气缸的定位精度。在半导体加工、自动化控制、机器人驱动等技术领域中具有突出的推广价值和广阔的市场前景。