[发明专利]基于摆臂式轮廓检测的面形离焦量变化值的测量方法有效
| 申请号： | 201911356311.0 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110879046B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 熊玲;胡海翔;戚二辉;罗霄;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 尹庆娟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于摆臂式轮廓检测的面形离焦量变化值的测量方法属于光学元件面形检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的面形离焦量测量结果不准确以及测量过程繁琐的问题。本发明包括以下步骤：采用摆臂式轮廓检测方法对待测面进行检测，获得加工前多条采样轮廓线坐标值；采用最小二乘方法进行倾斜拟合，得到待测面加工前摆臂式轮廓检测装置中采样轮廓线的倾斜值；对待测面进行加工，加工完成后清洗待测工件表面；对加工后多条采样轮廓线坐标值采用最小二乘方法进行倾斜拟合，得到待测面加工后摆臂式轮廓检测装置中采样轮廓线的倾斜值；加工前后的倾斜值作差，从倾斜差值中提取获得待测面面形加工前后的离焦量变化值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 摆臂式 轮廓 检测 面形离焦量 变化 测量方法 | ||
【主权项】：
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