[发明专利]原子力显微术探针夹持装置有效
| 申请号： | 201911352865.3 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111077347B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡微;王伟 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 崔晓光 |
| 地址： | 100191 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种原子力显微术探针夹持装置，其包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微 探针 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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