[发明专利]一种真空阀门的测试工装在审
申请号: | 201911342648.6 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN110864973A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 郭卫强;朱东峰;李水波 | 申请(专利权)人: | 昆山新莱洁净应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G01N3/12 | 分类号: | G01N3/12 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215331 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空阀门的测试工装,包括矩形安装底架、矩形钢铸箱、测试阀、控制阀组和控制柜,所述矩形安装底架顶部的一侧通过第一焊接架和第二焊接架固定安装有矩形钢铸箱,所述矩形钢铸箱两侧的中央位置处固定安装有测试阀,所述矩形安装底架顶部靠近矩形钢铸箱的位置处固定安装有控制阀组。本发明在使用的时候直接把测试阀安装在矩形孔上,然后通过控制柜控制SV008真空泵对矩形钢铸箱内部进行抽真空,在对矩形钢铸箱抽真空的过程中,根据JC‑1000气压传感器检测到矩形钢铸箱内部的气压即对测试阀的承压力做到精确的检测,操控测试流程简单化,规范化,因此对工作人员没有太高的操作要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 阀门 测试 工装 | ||
【主权项】:
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