[发明专利]一种真空微波振荡源栅网加工方法有效
| 申请号： | 201911335950.9 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN110919304B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 沈旭东;吴云龙;石鑫 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 安徽华普专利代理事务所(普通合伙) 34151 | 代理人： | 谢建华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种真空微波振荡源栅网加工方法，包括步骤1、准备栅丝片毛坯、基板毛坯、隔片；步骤2、按照栅网规格对栅丝片毛坯、基板毛坯进行结构加工；步骤3、将加工完成后的栅丝片、基板和隔片组装起来；步骤4、对上一步骤得到的栅网进行机械加工；步骤5、栅网蚀刻；步骤6、后续处理工艺。本发明提供的制作方法解决了特别形状的栅网加工问题，且不受栅网栅丝尺寸的限制，大小栅网栅丝均能加工，栅丝宽度可以到微米级；本制作方法一次可加工多个栅网，提高了加工效率，节约时间以及成本；用本发明提供的制作方法生产出来的特别的L形栅丝形状，可以减小振荡源中高次模，防止高频场从谐振腔辐射到阴极区，振荡源易启振，频谱纯度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 微波 振荡 源栅网 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽华东光电技术研究所有限公司，未经安徽华东光电技术研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911335950.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轴承加工用具有防滑结构的夹持装置
- 下一篇：一种蜂窝状球面栅网的制备工艺
