[发明专利]一种MO源四联钢瓶有效
申请号: | 201911334301.7 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN110953476B | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 薛亮;郑江 | 申请(专利权)人: | 常熟制药机械厂有限公司 |
主分类号: | F17C1/00 | 分类号: | F17C1/00;F17C13/00;F17C13/04;C23C16/455 |
代理公司: | 苏州市小巨人知识产权代理事务所(普通合伙) 32415 | 代理人: | 凌立 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种MO源四联钢瓶,包括依次通气连通的第一MO源钢瓶、第二MO源钢瓶、第三MO源钢瓶和第四MO源钢瓶,第一MO源钢瓶包括惰性气体进气管和MO源充装口,初级MO源出气管;第二MO源钢瓶包括初级MO源进气管和二级MO源出气管,二级MO源出气管同时作为MO源充装口;第三MO源钢瓶包括二级MO源进气管和三级MO源出气管,二级MO源进气管同时作为MO源充装口;第四MO源钢瓶包括三级MO源进气管,同时其上端分别设有终级MO源出气管和MO源充装口;本发明通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用,可以提高MO源气体的均匀性,同时中间MO源钢瓶同样具有MO源充装空间,可以确保MO源气体的饱和度。 | ||
搜索关键词: | 一种 mo 源四联 钢瓶 | ||
【主权项】:
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