[发明专利]基于T状悬臂梁探针的开尔文探针力显微镜测量方法有效
| 申请号： | 201911313094.7 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110907663B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 谢晖;张号;宋健民;孟祥和;耿俊媛 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01Q60/26 | 分类号： | G01Q60/26;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种基于T状悬臂梁探针的开尔文探针力显微镜测量方法，属于原子力显微镜测量技术领域。本发明针对现有AM‑KPFM测量中存在严重的悬臂均化效应，影响表面电势测量结果准确性的问题。包括对T状悬臂梁探针进行一阶弯曲共振频率下的机械激励，使其在预设法向振幅下振动；接近待测样品，使T状悬臂梁探针的法向振幅衰减到法向振幅设定值；在T状悬臂梁探针与待测样品之间施加频率为T状悬臂梁探针一阶扭转共振频率的交流电压和直流补偿电压；获得直流补偿电压与T状悬臂梁探针扭转振幅的关系曲线；进而确定扭转振幅设定值；基于此，按照设置的扫描步距和扫描测试点数对待测样品进行测量。本发明用于实现样品表面形貌和局部表面电势的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬臂梁 探针 开尔文 显微镜 测量方法 | ||
【主权项】：
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