[发明专利]环状镀膜承载组件及环状镀膜装置在审
申请号: | 201911306166.5 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN113000323A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 侯立信;王青波;李杰 | 申请(专利权)人: | 三营超精密光电(晋城)有限公司 |
主分类号: | B05C13/02 | 分类号: | B05C13/02;B05C15/00 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 叶乙梅;薛晓伟 |
地址: | 048026 山西省*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 一种环状镀膜承载组件,用于承载待镀元件,所述环状镀膜承载组件包括至少一承载单元,所述承载单元包括一第一承载部、一第二承载部及至少两个肋板,所述第一承载部与所述第二承载部之间形成有一环形槽,所述肋板位于所述环形槽内且连接固定所述第一承载部与所述第二承载部,每个所述肋板包括一溢镀槽,所述溢镀槽的开口面向所述待镀元件且与所述环形槽连通。本发明还提供一种应用所述环状镀膜承载组件的环状镀膜装置。本发明提供的环状镀膜承载组件能够避免镀膜出现遮蔽痕迹。 | ||
搜索关键词: | 环状 镀膜 承载 组件 装置 | ||
【主权项】:
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