[发明专利]一种气体静压气浮垫及气浮导轨

摘要

本发明公开了一种气体静压气浮垫及气浮导轨，所述气浮垫包括：壳体、固定在壳体内的支撑块、固定在支撑块下端面上的多孔质材料层，所述支撑块内开设有进气通道、和与所述进气通道相贯通的节流通道，所述节流通道上等间距安装有若干个延伸至支撑块下端面的小孔节流器，所述支撑块的下端面上开设有凹槽以使所述支撑块与多孔质材料层的上表面之间形成气腔，所述多孔质材料层的下表面上还开设有均压槽。通过上述方式，本发明采用小孔节流、多孔质材料节流、均压槽表面节流相组合的节流方式，能够使气浮垫达到国际上微孔节流型气浮垫的性能指标，并且本发明气浮垫结构简单，制造成本低；同时本发明气浮垫可以应用在导轨平台上，制成气浮导轨。