[发明专利]一种基于薄膜横向热电效应的热流传感器

摘要

本发明公开了一种基于薄膜横向热电效应的热流传感器，该热流传感器包含：金属电极、吸热涂层、倾斜外延薄膜、斜切单晶衬底、导热胶、小孔、金属热沉。其中，金属电极和吸热涂层均设置于倾斜外延薄膜的上表面，且金属电极于吸热涂层的两端；倾斜外延薄膜生长在斜切单晶衬底上，该斜切单晶衬底通过导热胶固定在金属热沉上；金属热沉的两端均设置有贯通的绝缘小孔；金属电极上焊接的金属导线通过绝缘小孔穿过金属热沉并与电压测量系统连接，金属热沉与待测物体连接。倾斜外延薄膜的晶轴c轴和法线之间存在一夹角。本发明的热流传感器通过一种薄膜材料就能实现热流探测，而且灵敏度高且响应速度较快。