[发明专利]一种用于显影后的光刻胶加固热烘烤设备

摘要

本发明涉及显示面板制造技术领域，且公开了一种用于显影后的光刻胶加固热烘烤设备，包括烘烤箱，所述烘烤箱内腔的底部设有加热板，所述加热板上设有基板，所述烘烤箱内腔的顶部设有出风道。该用于显影后的光刻胶加固热烘烤设备，通过位于烘烤箱内腔顶部的进风道抽取烘烤箱内光刻胶中所含溶剂在烘烤时挥发所形成的气体，并将其输送至出风管内，再通过启动循环泵，抽取冷却水对出风管内经过水冷却管的光刻胶中所含溶剂在烘烤时挥发所形成的气体进行降温，使光刻胶中所含溶剂在烘烤时挥发所形成的气体充分降温形成光阻颗粒，被连接管中的滤芯过滤掉，本装置提高了光刻胶烘烤所形成的光阻颗粒的过滤效果，使用效果更好。