[发明专利]一种轴向可动静压气浮主轴

摘要

本发明公开了一种轴向可动静压气浮主轴，包括主轴转子、电磁作动器组件及主轴外壳，所述电磁作动器组件包括固定于主轴外壳上的次级铁芯及线圈绕组，所述电磁作动器组件还包括固定于主轴转子上的永磁体，所述永磁体为多块，且永磁体沿着主轴转子的轴线间隔排列；所述永磁体以极性朝向相同的方式排布于主轴转子上；还包括固定于主轴转子上的次级铁芯，所述次级铁芯的数量较永磁体数量多一块；任意相邻两永磁体之间均夹持有一块次级铁芯，各永磁体的两侧均贴合有一块次级铁芯。本气浮主轴的结构设计可使得其能够被运用于精密光学设备加工，如实现具有表面微结构的零部件加工。