[发明专利]一种超高品质因子回音壁模式微棒腔制备方法在审

专利信息
申请号: 201911221723.3 申请日: 2019-12-03
公开(公告)号: CN110981168A 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 王克逸;杨煜;王梦宇;沈远;孟令俊;张磊 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;G01M11/02
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 杨学明;顾炜
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种超高品质因子回音壁模式微棒腔制备方法,步骤如下:1)将直径为毫米级的石英预制棒夹持在气浮轴承上进行转动;2)调节CO2激光器焦点至预制棒表面;3)调大CO2激光器功率,逐步移动三维移动台,熔融一圈后形成一个烧蚀圆环;4)移动三维移动台至下一个位置,继续烧蚀另一个圆环;5)加大CO2激光器功率,在两环之间短时间加热,熔融的石英会在表面张力的作用下自然成超光滑的表面,在两环之间即可得到高品质因子的微棒腔。此微棒腔在毫米级石英预制棒上直接烧蚀熔融而成,具有达到109量级的超高品质因子和高稳定性。相对于其他的制备方法,此加工方法快速、简单,同时加工出的微棒腔具有高稳定性、超高品质因子、面型可控的优势。
搜索关键词: 一种 超高 品质 因子 回音壁 模式 微棒腔 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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