[发明专利]一种MPCVD合成设备模拟测试装置及其模拟测试方法在审
| 申请号： | 201911213906.0 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110888415A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 黄翀;唐跃强 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02;G01D21/02 |
| 代理公司： | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人： | 陶祥琲 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MPCVD合成设备模拟测试装置及其模拟测试方法，包括：供电模块、控制系统和显示模块；供电模块用于为控制系统和显示模块进行供电和配电；控制系统包括控制中心和输入/输出模块，用于接收测试对象输入的测试信号和测试指令后，对其进行测量、解析、判断和显示，并按照要求输出反馈信号和反馈指令；显示模块用于显示模拟测试装置所检测到测试信号的测试值和判定结果，以及所接收到的测试指令的解析结果。本发明能模拟MPCVD合成设备内除操作系统和数据控制单元外的所有功能模块，在设备调试和检修过程中，能验证由自动化控制程序实现的工艺流程的准确性和稳定性，并测量数据控制单元输出信号的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 合成 设备 模拟 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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