[发明专利]化学品的循环管路流量控制系统及其控制方法在审
| 申请号： | 201911195170.9 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN112859936A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 沈涛 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种化学品的循环管路流量控制系统及其控制方法，该系统包括：存储容器，其用于存储化学品；循环管路，其两端分别连接于所述存储容器的出口和入口，化学品能够在所述循环管路和所述存储容器中循环流动；分配管路，其与所述循环管路连接，将所述循环管路中的部分化学品引导出所述循环管路；压力传感器，其设置于所述循环管路，用于检测所述循环管路中化学品的压力值；电动阀，其设置于所述循环管路，所述电动阀的开度用于调整所述循环管路中化学品的流量从而调整化学品在所述循环管路中的压力；以及控制器，其根据所述压力传感器检测到的压力控制所述电动阀的开度，并显示所述压力传感器检测到的压力值。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 循环 管路 流量 控制系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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