[发明专利]基于液体基准平面比较测量的自由曲面测量方法及装置有效
| 申请号： | 201911187595.5 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110954020B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 邱丽荣;唐顺;赵维谦 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B5/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于液体基准平面比较测量的自由曲面检测方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明利用纳米精度高度测量传感器获取的液面基准表面高度信息来监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨在高度方向的直线度误差。将两个平面精度达到二十分之一波长的平面平晶，分别与X向气浮导轨和Y向气浮导轨平行放置；利用两个纳米精度高度测量传感器，分别获取其与两个平面平晶之间的距离，用于监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨的横向直线度误差。利用高平面度的液体基准平面作为基准，对自由曲面表面形貌进行降维误差分离，最终实现自由曲面形貌的纳米精度检测。本发明大幅提高了自由曲面测量的范围和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 液体 基准 平面 比较 测量 自由 曲面 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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