[发明专利]抛光力控制柔性抛光工具在审
| 申请号： | 201911179219.1 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111002155A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 吴伦哲;徐学科;顿爱欢;杨明红;吴福林;秦德华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B13/01;B24B47/12;B24B41/00;B24B49/00;B24B41/04;B25J11/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种抛光力控制柔性抛光工具，包括柔性工具、夹头座、连接板、减速机、伺服电机、机架、力传感器、力控系统等；柔性工具由夹具、弹性层和抛光革组成。本发明通过力传感器测试加工过程中的抛光力并通过力控制系统实现加工力恒定，采用柔性层和抛光垫配合保证光学元件的高表面质量；避免在加工过程中产生中频误差；去除函数在加工过程中的可以调整，减小边缘效应，实现光学元件的高精度加工。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 控制 柔性 工具 | ||
【主权项】：
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