[发明专利]一种便于控制表面成形精度的偏滤器支撑结构及装配方法有效
| 申请号： | 201911170077.2 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110993125B | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 彭学兵;卯鑫;刘鹏;陆坤;顾永奇;钱新元;覃世军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G21B1/13 | 分类号： | G21B1/13 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于控制表面成形精度的偏滤器支撑结构及装配方法，包括各基准块、各主支撑、各轨道支撑、过渡板、固定块和插销等，通过这些部件的相互配合，并辅以测量定位修配手段，以外靶板为例，利用两三个步骤：外靶板自身装配精度控制、外靶板下部支撑结构装配精度控制和螺钉紧固连接，以实现偏滤器面对等离子体部件的准确装配定位，本发明是在部件装配的同时保证了装配精度，具有省时、稳定、安全、高效、可靠等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 控制 表面 成形 精度 滤器 支撑 结构 装配 方法 | ||
【主权项】：
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