[发明专利]一种蘑菇状超疏水-超疏油PDMS微纳复合阵列及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201911165378.6 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111115548A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 姚瑶;侯茂祥;陈云;施达创;陈燕辉;陈新;高健 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;C08J7/12 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳加工技术领域，公开了一种蘑菇状超疏水‑超疏油PDMS微纳复合阵列及其制备方法和应用。该PDMS微纳复合阵列是先利用化学气相沉积法在预处理的硅片表面生长氮化硅层；在氮化硅层的表面旋涂光刻胶，用所掩模板覆盖在光刻胶上，对光刻胶进行曝光，显影，对显影区域进行刻蚀；刻蚀去除未被光刻胶覆盖的部分氮化硅层；再刻蚀去除贵金属催化剂，在该硅片表面涂覆PDMS层，在150～180℃固化，再用碱溶液溶解硅片，得到蘑菇状PDMS微结构阵列，对其表面氟化处理制得。该阵列具有超疏水‑超疏性，其接触角为150～160°，滚动角为5～10°，可应用在催化、防水防油或生物医疗领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蘑菇 疏水 超疏油 pdms 复合 阵列 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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