[发明专利]一种液晶计算全息图的曝光方法和装置有效
| 申请号： | 201911159778.6 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110850685B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 胡摇;王臻;王劭溥;张万隆;郝群 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种液晶计算全息图的曝光方法及装置，其能够避免目前制作液晶计算全息图采取的掩膜版曝光法的问题，简化制作流程，降低制作成本，缩减掩膜版与待曝光基板间的距离，减少对基板表面光敏材料的破坏。方法包括：(1)构建液晶计算全息图曝光装置，不加入平面镜与空间光调制器；(2)放入涂覆有光敏材料的待曝光基板并进行参数调整；(3)进行第一次曝光；(4)在曝光装置中加入平面镜与空间光调制器，并对两者及待曝光基板进行参数调整，调整空间光调制器的输入参数，使其能够将入射的平面光波调制为预期波前的光波；(5)进行第二次曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶 计算 全息图 曝光 方法 装置 | ||
【主权项】：
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