[发明专利]用于激光干涉仪的信号处理方法及其电路系统在审
申请号: | 201911157775.9 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN112834055A | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 李大猛;宋云峰;宋耀东 | 申请(专利权)人: | 余姚舜宇智能光学技术有限公司 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02;G01S17/42;G01S7/48;G01S7/481 |
代理公司: | 宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244 | 代理人: | 罗京;孟湘明 |
地址: | 315408 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种用于激光干涉仪的信号处理方法,其中,所述激光干涉仪用于测量被测目标的位移信息,包括:基于参考信号对获取的载波信号进行同频处理,以获得与所述参考信号具有相同频率的载波信号;以及对同频处理后的所述载波信号和所述参考信号进行处理,以获得同频处理后的所述载波信号和所述参考信号之间的相位差,其中,所述相位差用于获取被测目标的位移信息。通过这样的方式,该方法能够实现对被测物体的变化如位移和速度等信息的快速检测,且测量精度较高。 | ||
搜索关键词: | 用于 激光 干涉仪 信号 处理 方法 及其 电路 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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