[发明专利]可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置有效
| 申请号： | 201911144230.4 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN110900182B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 许峯嘉;庄海云;王雪松;陈佳炜 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P21/00 | 分类号： | B23P21/00 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，包括晶圆导片模组，所述晶圆导片模组包括用于夹持晶圆片的夹持组件，还包括设置于所述晶圆导片模组正下方的升降模组、设置于所述晶圆导片模组一侧的联杆装置模组以及设置在所述晶圆导片模组下方的用于将晶圆托篮进行水平传递的水平传递模组，所述联杆装置模组包括用于驱动所述夹持组件进行夹紧或张开的第一驱动气缸，所述升降模组包括与晶圆片适配的晶圆支撑座以及用于驱动所述晶圆支撑座进行升降的第二驱动气缸。本发明通过设置晶圆片导片模组、升降模组、联杆装置模组和水平传递模组这一套稳定的机构，避免了在进行晶圆导片过程中会对晶圆产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自由 安装 湿法 设备 模组化 装置 | ||
【主权项】：
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