[发明专利]一种液晶成像光刻装置在审
| 申请号： | 201911111358.0 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110824860A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 周春铭;罗一鸣;刘萍 | 申请（专利权）人： | 南京特斯富电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 | 代理人： | 徐晶石 |
| 地址： | 212000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液晶成像光刻装置，包括机体，所述机体内部上下方向依次安装有曝光光源、平行光聚焦透镜、冷空气流动层、LCD液晶屏和光刻面板，其中，所述光刻面板上表面贴敷有均匀覆盖膜胶层，所述冷空气流动层与所述LCD液晶屏之间设有滤波片，所述LCD液晶屏与所述感光膜间设有高精度聚焦成像透镜模组，所述冷空气流动层横嵌在在所述机体内部，所述冷空气流动层与所述机体外部相通并通过管道连接到气体装置，所述LCD液晶屏电连接到所述上位机。本发明提供一种液晶成像光刻装置，加入可选择光波段的LED高准直平行光光刻系统，可以直接对需要运用图像转移的感光涂层进行高精度，高转换效率，以及环保无污染和零库存的生产和运作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶 成像 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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