[发明专利]压差传感器装置在审
| 申请号： | 201911111101.5 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111189574A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | I.布伦纳;T.阿诺德;P.德里杰卡;J-F.勒尼尔;J-L.比洛德 | 申请（专利权）人： | 泰科电子连接解决方案有限责任公司 |
| 主分类号： | G01L13/06 | 分类号： | G01L13/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈曦 |
| 地址： | 瑞士施*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压差传感器装置，包括：基板、形成在该基板的主表面上的另一层、以及通过膜片彼此分开的第一腔体和第二腔体。该第一腔体与通道流体连通，该通道与通气孔流体连通，空气可以通过该通气孔从该传感器装置的环境进入。该通道在该另一层或该基板内在与该主表面基本上平行的平面中延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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