[发明专利]基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法在审
| 申请号： | 201911109242.3 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN110793918A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 蔡守东;吴蕾;代祥松;郭曙光;李鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳市斯尔顿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/954 |
| 代理公司： | 44223 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄议本 |
| 地址： | 518114 广东省深圳市布吉街道布*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法。所述装置包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程单元；所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程单元；所述等光程单元用于使光照射至待测样品；所述等光程单元包括沿光的入射方向依次设置的中继反射镜和末端反射镜；所述中继反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。所述方法采用所述装置。本申请可实现快速检测以及可提高准确率，具有很好的灵活性，可对各种形状的工业产品进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 等光程 扫描机构 样品臂 光束整形单元 末端反射镜 中继反射镜 待测样品 入射方向 探头组件 空间自由 快速检测 依次设置 分布光 光入射 光照射 准确率 光程 工业产品 申请 相等 测量 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置，其特征在于：包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程单元；/n所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程单元；所述等光程单元用于使光照射至待测样品；/n所述等光程单元包括沿光的入射方向依次设置的中继反射镜和末端反射镜；/n所述中继反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。/n
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