[发明专利]焦化缓蚀剂有效

专利信息
申请号: 201911107359.8 申请日: 2019-11-13
公开(公告)号: CN110747002B 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 徐文忠 申请(专利权)人: 上海贵通新材料科技有限公司
主分类号: C10G7/10 分类号: C10G7/10
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 代理人: 卞静静
地址: 201202 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种焦化缓蚀剂,包括:重量份计的含硫氨基酸组合物30~35份,胺复合剂12~15份、聚丙烯酰胺10~12份和增效剂6~12份。本发明成本低廉,易降解,采用氨基酸组合物、胺复合剂和聚丙烯酰胺进行复配使用,缓蚀效果明显,本发明采用的焦化缓蚀剂以氨基酸组合物为主要原料配合第一代缓蚀剂大大降低了胺复合剂的使用量,采用碳基材料负载氨基酸的方式解决了现有技术中绿色缓蚀剂吸附膜致密性差的缺点,使得该缓蚀剂更加环保而且缓蚀效果相较于第一代缓蚀剂有明显增加。
搜索关键词: 焦化 缓蚀剂
【主权项】:
1.焦化缓蚀剂,其特征在于,包括:/n重量份计的含硫氨基酸组合物30~35份,胺复合剂12~15份、聚丙烯酰胺10~12份和增效剂6~12份;/n其中,胺复合剂包括:乙醇胺40~55份、二乙醇胺30~45份、三乙醇胺10~20份;增效剂包括:丙三醇和柠檬酸。/n
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