[发明专利]铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法，包括如下步骤：1)将刀具预处理后放入电弧增强磁控溅射镀膜设备内；2)对刀具进行等离子体清洗；以柱弧Ti靶作为Ti源，通过柱弧Ti靶电流控制柱弧Ti靶的溅射率，制备Ti底层；保持柱弧Ti靶电流，采用高纯N2作为反应气体，制备TiN过渡层；保持柱弧Ti靶电流，调节N2流量，以平面C靶作为C源，通过调整中频脉冲电源的功率控制平面C靶的溅射率，在TiN过渡层上制备TiCN过渡层；将N2流量降为0，调节柱弧Ti靶电流以及平面C靶的电源功率，制备TiC+a‑C复合层，最终在刀具表面沉积形成Ti/TiN/TiCN/TiC+a‑C涂层。本发明制备的涂层可有效抑制铝屑粘刀，增加刀具耐磨性能，显著提高刀具寿命。