[发明专利]一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统在审
| 申请号： | 201911093645.3 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110779462A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 王欣;刘强;周浩;何志平;舒嵘;贾建军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/255 |
| 代理公司： | 31311 上海沪慧律师事务所 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统。由检测设备发出光线经第一补偿透镜和第二补偿透镜透射，至待检凹非球面镜自准后返回。光学系统选用大入射光线孔径角，第一补偿透镜承担较大的非球面法线像差，大大提高了补偿能力，在小口径比条件下实现了非球面球差的平衡；补偿器口径与被检非球面口径比非常小，仅为0.025；采用两片式补偿器结构，补偿透镜数量少、全球面设计，打破了为了检验大口径非球面将补偿系统非球面镜化的设计局限，方案简单，加工周期更短；检验光路像质优良，波像差达到PV值优于0.1λ，适合高精度的非球面面形加工。改进型奥夫纳尔检验可以实现14m超大口径、1:1.43超大相对孔径的非球面镜检验。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿透镜 非球面 超大口径 光学系统 改进型 球面镜 检验 凹非 法线 非球面镜检验 补偿器结构 非球面面形 补偿能力 补偿系统 非球面镜 加工周期 检测设备 入射光线 波像差 补偿器 大口径 孔径角 口径比 两片式 全球面 透射 光路 球差 像差 像质 口径 局限 返回 平衡 加工 | ||
【主权项】：
1.一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统，包括待检凹非球面镜(1)、第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3)，其特征在于，/n所述光学系统的光栏位于待检凹非球面镜(1)上；由检测设备发出的光线经第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3)透射后，至待检凹非球面镜(1)自准反射，再经第二补偿透镜(3)和第一补偿透镜(2)透射原路回到检测设备；/n所述的第一补偿透镜(2)的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比β
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海技术物理研究所，未经中国科学院上海技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911093645.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
