[发明专利]一种自吸气式X射线发生装置及其用途有效
| 申请号： | 201911087670.0 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110767524B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 戴庆;李振军;李驰;白冰;陈科;周圣涵 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01J35/24 | 分类号： | H01J35/24;H01J35/06;H01J35/08;H01J35/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自吸气式X射线发生装置及其用途，所述装置包括绝缘壳、阴极、阳极和栅极、至少一个吸附金属板和至少一个溅射金属板；阴极封装于绝缘壳内，用于释放电子；阳极封装于所述绝缘壳内，阳极包括靶体和靶面，阴极释放的电子与靶面碰撞而释放X射线；吸附金属板和溅射金属板平行设置，吸附金属板与其相邻的溅射金属板形成一组离子溅射结构，离子溅射结构的数目为至少一组，离子溅射结构位于阴极的至少一侧，吸附金属板和所述溅射金属板的平面方向与阴极释放电子的方向平行；栅极可设置在吸附金属板或溅射金属板上或单独设置。本发明通过引入离子溅射结构，实现在X射线管发射的同时实现对管内残余气体分子吸附，获得更佳的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸气 射线 发生 装置 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种自吸气式X射线发生装置，包括绝缘壳、阴极、阳极和栅极，其特征在于，所述自吸气式X射线发生装置还包括至少一个吸附金属板和至少一个溅射金属板；/n所述阴极封装于所述绝缘壳内，用于释放电子；/n所述阳极封装于所述绝缘壳内，所述阳极包括靶体和靶面；/n阴极释放的电子与所述阳极靶面碰撞而释放X射线；/n所述吸附金属板和所述溅射金属板平行设置，所述吸附金属板与其相邻的溅射金属板形成一组离子溅射结构，所述离子溅射结构的数目为至少一组，所述离子溅射结构位于阴极的至少一侧，所述吸附金属板和所述溅射金属板的平面方向与阴极释放电子的方向平行；/n所述栅极可设置在吸附金属板或溅射金属板上，或单独设置。/n
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