[发明专利]EUV聚光设备和包括EUV聚光设备的光刻设备在审
| 申请号： | 201911076914.5 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN111142339A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘灏;林彩默;张圣虎;崔珉硕 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 赵南;张青 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可提供一种极紫外(EUV)聚光设备，所述设备包括：主体，其具有凹陷内部并且被构造为旋转；锡产生器，其被构造为产生锡滴并喷射锡滴；锡捕获器，其被构造为处理喷射的锡滴；保护盖，其被构造为阻止锡滴落入主体中；以及旋转导向件，其被构造为使主体旋转。 | ||
| 搜索关键词： | euv 聚光 设备 包括 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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