[发明专利]一种回转摆动式晶圆清洗干燥机在审
| 申请号： | 201911074649.7 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110918551A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张海军 | 申请（专利权）人： | 荆门禾硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;F26B21/12;F26B21/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 448000 湖北省荆门市东宝区月亮湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种回转摆动式晶圆清洗干燥机，包括底板（11）、立柱、铰接转盘（13）以及电机；所述底板（11）上设有圆形导向轨道（2）；所述圆形导向轨道（2）设有低凹段（21）；所述回转摆动式晶圆清洗干燥机还包括挂具机构、固定机构以及铰接臂（3）；所述铰接臂（3）的一端与铰接转盘（13）铰接；所述铰接臂（3）的另一端通过固定机构与挂具机构连接；所述固定机构设有用于在圆形导向轨道（2）滚动的滚轮（62）；所述底板（11）在低凹段（21）的底部设有水槽（4）；所述水槽（4）内设有喷气机构（5）；所述挂具机构经过低凹段（21）进入水槽（4）中。本发明通过改变出气孔构形，可以方便地对气流参数进行调节，保证干燥效果；通过滚轮（62）、固定机构以及铰接臂（3）带动晶圆片运动，效率高，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回转 摆动 式晶圆 清洗 干燥机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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