[发明专利]三维检测装置及三维检测方法有效
| 申请号： | 201911063158.2 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112748111B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张鹏黎;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三维检测装置及三维检测方法，该三维检测装置包括光源模块、分束镜、空间光调制器和探测模块；光源模块提供的至少两种波长的出射光束经分束镜分为第一光束和第二光束，该第一光束经待测器件的检测面反射后形成探测光束，第二光束由空间光调制器的多个相位调节单元反射形成多束初始相位不同的参考光束；该参考光束和探测光束由探测模块接收，并在探测模块的探测面发生干涉产生干涉条纹，以使探测模块能够根据参考光束和探测光束产生的干涉条纹对待测器件的检测面进行三维检测。本发明实施例能够实现三维检测，且具有较高的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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