[发明专利]一种空分式多波长调频连续波激光干涉仪在审
| 申请号: | 201911060038.7 | 申请日: | 2019-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN110864621A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
| 发明(设计)人: | 郑刚;王欢;白浪;孙彬;张雄星;高明;刘卫国 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
| 主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 黄秦芳 |
| 地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明一种空分式多波长调频连续波激光干涉仪。提供的技术方案是:包括两个或两个以上不同中心波长的光纤调频连续波激光干涉子系统,每个子系统包括一个半导体激光器、一个光纤环行器、一个光纤准直器和一个光电探测器。两个或两个以上子系统通过各自的光纤准直透镜使用同一个部分反射镜产生参考光,并测量同一个全反射镜的位移。利用两个或两个以上子系统对目标在参考位置和待测位置两次测量得到的干涉级尾数,计算出其中一个子系统待测位置相对于参考位置干涉级变化量的整数和尾数,从而得到相应光程差变化量的绝对值。其优点是:可以实现光程差变化量的高精度绝对测量,无论是光程差快速变化、发生突变或在测量过程发生中断,都可以进行测量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 分式 波长 调频 连续 激光 干涉仪 | ||
【主权项】:
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