[发明专利]一种高精度反射镜面型的加工方法在审
| 申请号： | 201911041512.1 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110716253A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 朱一村;廖洪平;吴先云;张星;陈秋华;陈言灯;陈伟 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明专利涉及一种高精度反射镜面型的加工方法，包括一个抛光的基底，表面镀制高反膜，其特征在于所述的一种高精度反射镜面型的加工方法，高反膜系设计时，优化膜系结构及最外层的SiO | ||
| 搜索关键词： | 面型 反射镜 最外层 高反膜 反射率 镀制 干涉仪测试 离子束加工 镀膜工艺 厚度变化 加工方便 面型数据 膜系结构 表面镀 离子束 抛光 基底 膜层 去除 加工 测试 优化 | ||
【主权项】：
1.本发明专利涉及一种高精度反射镜面型的加工方法，包括一个抛光的基底，表面镀制高反膜，其特征在于所述的一种高精度反射镜面型的加工方法，高反膜系设计时，优化膜系结构及最外层的SiO
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