[发明专利]一种飞秒激光并行加工机械密封面微孔织构的系统

摘要

本发明涉及一种飞秒激光并行加工机械密封面微孔织构的系统，属于飞秒激光应用技术领域。本发明方法通过空间光调制器对飞秒激光加载相位，调制其焦点处的光场空间分布，再经过4F系统将光束聚焦在待加工密封装置表面。通过空间光调制和六维平移台的配合，可以实现并行快速加工机械密封装置表面的微孔织构。本发明系统，通过空间光调制器进行光束空间整形，可以获得任意形状的光束，包括圆形、三角形等，微孔的形状具有任意调节性。本发明具有并行加工、高效率、工况条件良好的优点，且微孔形状任意可调，密封装置材质基本不受限制。