[发明专利]一种基于埃洛石纳米管的湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910990062.4 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110726757B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 太惠玲;段再华;蒋亚东;赵秋妮;黄琦;谢光忠;杜晓松 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 李颖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于埃洛石纳米管的湿度传感器及其制备方法，属于湿敏元件及其制备技术领域，一种基于埃洛石纳米管的湿度传感器，包括衬底，所述衬底表面含有叉指电极，所述衬底上涂覆有湿度感应层，所述湿度感应层完全覆盖所述叉指电极，所述湿度感应层是埃洛石纳米管。本申请的一种基于埃洛石纳米管的湿度传感器具有大的湿度响应，阻抗变化为5个数量级；检测范围宽，可以检测0％‑91.5％范围的相对湿度；响应时间快，不超过1秒；具有原材料资源丰富、成本低廉、绿色环保，器件制备工艺简单的优点，具有较好的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 埃洛石 纳米 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于埃洛石纳米管的湿度传感器，其特征在于：包括衬底，所述衬底表面含有叉指电极，所述衬底上涂覆有湿度感应层，所述湿度感应层完全覆盖所述叉指电极，所述湿度感应层是由埃洛石纳米管和溶剂制成，所述埃洛石纳米管与所述溶剂的质量比为1:1-10。/n
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