[发明专利]一种用于加工微纳结构的光镊打印装置在审
| 申请号： | 201910973062.3 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110625246A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 张聿全;袁运琪;闵长俊;汪先友;张治斌;袁小聪 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/352 |
| 代理公司： | 44312 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 鲍竹 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，包括沿激光光路顺次设置的激光器、偏振片、半波片、扩束镜组、液晶空间光调制器SLM、第一凸透镜、第二凸透镜、分束镜、物镜、可移动载物台；所述物镜的一端连接有白光光源LED、另一端连接有一反射镜，所述反射镜顺次连接有第三凸透镜、电荷耦合元件CCD。该装置在加工精度和可重复性比化学方法加工的维纳结构更好，在实验复杂性和加工价格方面比聚焦离子束光刻和电子束光刻更好。 | ||
| 搜索关键词： | 凸透镜 一端连接 反射镜 加工 物镜 液晶空间光调制器 聚焦离子束光刻 电荷耦合元件 可移动载物台 电子束光刻 白光光源 打印装置 激光光路 可重复性 扩束镜组 顺次连接 微纳结构 激光器 半波片 分束镜 偏振片 光镊 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工微纳结构的光镊打印装置，其特征在于，包括沿激光光路顺次设置的激光器、偏振片、半波片、扩束镜组、液晶空间光调制器SLM、第一凸透镜、第二凸透镜、分束镜、物镜、可移动载物台；所述物镜的一端连接有白光光源LED、另一端连接有一反射镜，所述反射镜顺次连接有第三凸透镜、电荷耦合元件CCD。/n
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