[发明专利]一种检测方法、系统及设备在审
申请号: | 201910945756.6 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN112577971A | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 陈鲁;黄有为;王天民;庞芝亮;崔高增 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 李海宝 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种检测方法包括:获取所述待测物所包括的待复检的第一缺陷集;根据所述第一缺陷集的位置、复检探头的位置和所述待测物的运动方向对第一缺陷集进行筛选处理,获取第二缺陷集;按照所述待测物的运动方向对所述第二缺陷集进行排序,通过复检探头对排序后的缺陷集进行复检,从而可以有效的提高缺陷检测效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 方法 系统 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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