[发明专利]掺氟石英套管及制造方法有效
| 申请号： | 201910936147.4 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112573816B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 仇春雷;周建峰;钱宜刚;沈一春;薛驰;薛济萍 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 陈海云 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种掺氟石英套管及制造方法：提供一种第一石英件，所述第一石英件包括尾柄、连接杆及插销，所述尾柄一端凹设有腔体，所述连接杆一端伸入所述腔体内，所述腔体管壁与所述连接杆上均设有销孔，所述插销插入所述销孔内以连接所述尾柄及所述连接杆；在连接杆上沉积形成与尾柄连接的粉末体；抽出连接杆，在粉末体上形成与腔体贯通的中心孔，所述粉末体套接于所述尾柄外组成石英套管预制件；将石英套管预制件放入加热炉中，在加热炉中及中心孔内通入脱水气体，使粉末体加热脱水；在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体，使粉末体在掺氟气氛中加热浸泡以形成掺氟石英套管。上述掺氟石英套管及制造方法中掺氟均匀，材料利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 套管 制造 方法 | ||
【主权项】：
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