[发明专利]一种用于深紫外CaF在审
| 申请号： | 201910935258.3 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110711739A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 邓文渊;金春水;李春;姚舜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;G01N21/84;G01Q60/24;G01N21/59 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供的用于深紫外CaF | ||
| 搜索关键词： | 基底 兆声清洗 清洗 基底表面 特性检测 空化 亚微米尺度 表面缺陷 超声清洗 综合效果 颗粒物 抛光剂 残留 | ||
【主权项】：
1.一种用于深紫外CaF
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