[发明专利]抛光垫、该抛光垫的制造方法及使用该抛光垫的抛光方法在审
| 申请号： | 201910931840.2 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112571273A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 徐章源;安宰仁;尹晟勋;许惠暎;尹钟旭;文寿泳 | 申请（专利权）人： | SKC株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 金相允;梁香美 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种减少抛光基板的缺陷数量的抛光垫、该抛光垫的制造方法及利用该抛光垫的抛光方法，该抛光垫含有在其主链上包含氟化重复单元的聚氨酯，通过所述抛光垫和气相二氧化硅浆抛光的基板具有缺陷为在40个以下的低缺陷特性。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 制造 方法 使用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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