[发明专利]一种高精度宽域型氧传感器片芯在审
| 申请号： | 201910910161.7 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110487874A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李冉;王啸;王会;赵毅;贺彪 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 耿英<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度宽域型氧传感器片芯，包括分别设置在层叠的不同氧化锆基板上的加热器、能斯特电池、泵电池、密闭的检测腔和开放式的气体通道；能斯特电池包括能斯特感应电极和地电极，通过能斯特感应电极感应扩散进气体通道的环境气体氧气压力，通过能斯特电池的地电极感应检测腔内的氧气压力，根据感应电极和地电极上的氧气压力差产生能斯特电压；泵电池包括泵电极和地电极，通过在泵电池的泵电极和地电极间施加不同方向的电流，向检测腔泵进或泵出氧气。密闭的检测腔使得腔内氧气无法逸出或扩散，能斯特电压检测精度更高，域值宽；没有扩散障设计，无需加工扩散障，工艺简单，不需扩散障材料，材料种类少，共烧匹配好，良品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 地电极 感应电极 氧气压力 泵电池 检测腔 扩散障 能斯特电压 电池 泵电极 密闭 腔内 氧气 加热器 氧化锆基板 扩散 感应检测 环境气体 气体通道 氧传感器 进气体 良品率 共烧 宽域 片芯 逸出 匹配 施加 检测 加工 | ||
【主权项】：
1.一种高精度宽域型氧传感器片芯，其特征是，包括分别设置在层叠的不同氧化锆基板上的加热器、能斯特电池、泵电池、检测腔和气体通道；/n所述检测腔为密闭腔体；/n所述气体通道为开放式腔体，与环境气体连通；/n所述能斯特电池包括朝向气体通道的能斯特感应电极和朝向检测腔设置的地电极；通过能斯特感应电极感应扩散进气体通道的环境气体氧气压力，通过能斯特电池的地电极感应检测腔内的氧气压力，根据感应电极和地电极上的氧气压力差产生能斯特电压信号；/n所述泵电池包括泵电极和朝向检测腔设置的地电极；通过在泵电池的泵电极和地电极间施加不同方向的电流，向检测腔泵进或泵出氧气；/n所述加热器用于对泵电极和能斯特感应电极进行加热。/n
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