[发明专利]能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂有效
| 申请号： | 201910908573.7 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112558409B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 钱晓春;胡春青;龚艳;刘葛 | 申请（专利权）人： | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C09D11/03;C09D11/38;C09D7/63;C07D209/48;C07D403/04;C07D401/04;C07D209/86;C07D409/04;C07D417/04;C07D413/04;C07D209/88 |
| 代理公司： | 北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328 | 代理人： | 刘子文;徐驰 |
| 地址： | 213159 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开一种能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂，具有如下通式(A)所示结构。该光产酸剂对波长300‑450nm特别是365nm的活性能量射线具有高灵敏度、溶解度高且耐热性优异。 |
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| 搜索关键词： | 能够 高产 亚胺 类光产酸剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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