[发明专利]一种真空镀膜设备及对导电导磁托盘进行快速加热的方法在审
| 申请号： | 201910897466.9 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110512183A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 田罡煜;张永胜;何学勇;刘亚南;喻大伟 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/46;C23C16/458 |
| 代理公司： | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 孙仿卫<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜设备，包括从左向右依次设置的快速预加热装载腔、用于对托盘进行加热的加热缓冲腔、用于对托盘上的产品进行镀膜的镀膜腔、用于托盘缓慢降温的降温缓冲腔、用于冷却托盘的冷却腔、卸载腔，在装载腔、加热缓冲腔、镀膜腔、降温缓冲腔中至少有一个腔设计连接在中高频电源上的感应线圈，感应线圈四周产生的极性瞬间变化的交变磁场，当导电导磁托盘位于上述交变磁场中时，产生涡流效应和磁滞现象被加热，实现快速加热托盘的技术效果；及使用上述设备对导电导磁托盘进行快速加热的方法，采用中高频电源连接感应线圈，使托盘经过由感应线圈产生极性瞬间变化的交变磁场而升温的方式，加热速度快，腔体设计简单，托盘温度稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 加热 感应线圈 缓冲腔 交变磁场 中高频电源 导电导磁 快速加热 镀膜腔 装载腔 真空镀膜设备 磁滞现象 缓慢降温 技术效果 冷却托盘 温度稳定 涡流效应 依次设置 冷却腔 腔设计 卸载腔 预加热 镀膜 腔体 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜设备，包括：/n通过阀门进行隔离的多个腔体；/n用于在所述多个腔体之间传输导电导磁托盘的传送装置；/n所述腔体中至少有一个镀膜腔；/n所述腔体中至少有一个预加热的装载腔；/n其特征在于：/n所述真空镀膜设备还包括由金属线绕设而成的感应线圈，所述感应线圈位于所述真空镀膜设备的一个或多个腔体内，所述感应线圈两端连接有中高频交流电以形成交变磁场，所述导电导磁托盘位于所述交变磁场内。/n
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