[发明专利]混合型掩模棒和采用混合型掩模棒的掩模框架组件有效
| 申请号： | 201910892103.6 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN111074203B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 李秀奂;河在秀;柳光泰;崔镇百;表相佑 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;G09F9/00;G09F9/33;H10K71/10;H10K59/12 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘美华;张川绪 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种混合型掩模棒和一种采用混合型掩模棒的掩模框架组件。该掩模框架组件包括掩模框架以及掩模棒，所述掩模棒包括：第一掩模棒，在第一方向上延伸；第二掩模棒，在与第一方向交叉的第二方向上延伸；以及多个第三掩模棒，连接到第一掩模棒和第二掩模棒，所述至少一个第一掩模棒、所述至少一个第二掩模棒和所述多个第三掩模棒限定多个沉积区域，其中，第一掩模棒包括第一棒和布置在第一棒上的第二棒，并且第一棒和第二棒中的至少一个包括在其中第一掩模棒连接到第二掩模棒的局部凹陷部分。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 型掩模棒 采用 框架 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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