[发明专利]一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法，包括由光源发出的非偏振光，通过固定第一起偏器，变为线偏振光；通过第一磁光调制器，线偏振光被调制；通过固定第二起偏器，出射光变为线偏振光；通过第二磁光调制器，线偏振光被调制；经过待测样品反射，反射光进入第三磁光调制器被调制；然后通过固定检偏器，线偏振光进入光电探测器，记录含有样品薄膜的椭偏参数的光强，采用拟合算法对数据进行处理，精确测量样品薄膜的厚度和光学常数；本发明有效解决了现有方法中采用步进电机机械转动旋转偏振器，测量精度、测量重复性和稳定性均有限的问题，提高了测量速度，检测精度、灵敏度和测量装置的可靠性。

主权项

1.一种磁光调制椭偏仪装置，其特征在于：包括沿着一条光路依次设置的：光源(1)、第一聚光透镜(2)、固定第一起偏器(3)、第一磁光调制器(4)、固定第二起偏器(5)、第二磁光调制器(6)、第三磁光调制器(10)、固定检偏器(11)；其中，所述光源(1)，用于发出照射待测样品(8)的单频率非偏振光；/n所述第一聚光透镜(2),用于对所述光源(1)发出的光进行聚光，减小光束的直径；/n所述固定第一起偏器(3)，用于把所述第一聚光透镜(2)输出的非偏振态的光转变成偏振面固定的线偏振光；/n所述第一磁光调制器(4)，用于将入射到所述第一磁光调制器(4)的光的偏振面旋转一定的角度，调制入射光的偏振态；/n所述固定第二起偏器(5)，用于把所述第一磁光调制器(4)输出的偏振面可旋转的线偏振光转变成偏振面固定的线偏振光，并使通过固定第二起偏器(5)前后的光强满足马吕斯定律；/n所述第二磁光调制器(6)，用于将入射到所述第二磁光调制器(6)的光的偏振面旋转一定的角度，调制入射光的偏振态；/n所述第三磁光调制器(10)，用于将入射到所述第三磁光调制器(10)的光的偏振面旋转一定的角度，调制反射光的偏振态；/n所述固定检偏器(11)，用于把所述第三磁光调制器(10)输出的偏振面可旋转的线偏振光转变成偏振面固定的线偏振光，并使通过固定检偏器(11)前后的光强满足马吕斯定律。/n