[发明专利]一种卷绕式磁控溅射镀膜机在审
| 申请号： | 201910872123.7 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110438467A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 林初赢;林初煌 | 申请（专利权）人： | 林初赢 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 魏敬宣 |
| 地址： | 325200 浙江省温州市瑞安*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种卷绕式磁控溅射镀膜机，包括镀膜箱体、底座、磁控溅射机构、物料辊、收卷辊、传导机构和平展机构，镀膜箱体的底部固定安装有底座，镀膜箱体的内部安装有磁控溅射机构，镀膜箱体的一侧开设有箱口，箱口一侧的镀膜箱体上通过不锈钢合页铰接安装有箱门，镀膜箱体内靠近箱门一侧的顶部安装有物料辊，镀膜箱体内远离物料辊一侧的顶部安装有收卷辊，物料辊和收卷辊相对的两端均与镀膜箱体的箱壁转动安装，收卷辊和物料辊之间的镀膜箱体内安装有传导机构；本发明结构合理简单，提高溅射镀膜的均匀性，平展机构防止基材褶皱对镀膜的影响，使得镀膜产品质量得到提高，传导机构有效提高卷绕稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜箱体 收卷辊 传导机构 磁控溅射镀膜机 磁控溅射机构 顶部安装 卷绕式 箱口 箱门 底座 不锈钢合页 褶皱 镀膜产品 溅射镀膜 铰接安装 内部安装 平展机构 转动安装 均匀性 镀膜 基材 卷绕 箱壁 | ||
【主权项】：
1.一种卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：包括镀膜箱体(1)、底座(2)、磁控溅射机构(3)、物料辊(4)、收卷辊(5)、传导机构(6)和平展机构(7)，所述镀膜箱体(1)的底部固定安装有底座(2)，所述镀膜箱体(1)的内部安装有磁控溅射机构(3)，所述镀膜箱体(1)的一侧开设有箱口(11)，所述箱口(11)一侧的镀膜箱体(1)上通过不锈钢合页铰接安装有箱门(12)，所述镀膜箱体(1)内靠近箱门(12)一侧的顶部安装有物料辊(4)，所述镀膜箱体(1)内远离物料辊(4)一侧的顶部安装有收卷辊(5)，所述物料辊(4)和收卷辊(5)相对的两端均与镀膜箱体(1)的箱壁转动安装，所述收卷辊(5)和物料辊(4)之间的镀膜箱体(1)内安装有传导机构(6)，所述物料辊(4)上方的镀膜箱体(1)内安装有平展机构(7)，所述物料辊(4)上收卷有基材(8)，所述基材(8)经过传导机构(6)收卷在收卷辊(5)上，所述基材(8)靠近磁控溅射机构(3)的一侧形成有镀膜层(9)，所述传导机构(6)设置在磁控溅射机构(3)的上方，所述收卷辊(5)的一端通过联轴器与第一电机(10)的输出端传动连接，所述第一电机(10)通过安装板固定安装在镀膜箱体(1)的一侧上，所述底座(2)的底部固定安装有移动轮(13)。
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