[发明专利]一种双面生理数值测试片及其制备方法有效
| 申请号： | 201910865040.5 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110715965B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 赖欣怡 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N27/27 | 分类号： | G01N27/27;G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 白静兰 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面生理数值测试片的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：通过胶黏剂将薄膜的第一表面粘贴于基材上；在薄膜的第二表面涂布光阻材料后形成第一光阻层，用图罩对第一光阻层进行屏蔽，进行照射后形成图样层；在图样层镀上一层金属层；移除未经照射去除的第一光阻层，位于第一表面上的金属层形成测试线路；在测试线路上涂布一层绝缘材料形成绝缘层，在绝缘层上涂布光阻材料后形成第二光阻层；通过图罩去除位于测试线路上方的第二光阻层，再移除测试线路上方的绝缘层和未经照射去除的第二光阻层，测试线路间形成绝缘层；将第二表面粘贴于基板上，重复上述步骤，得到测试片。该方法可以有效简化制备流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 生理 数值 测试 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双面生理数值测试片的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：/n(1)通过胶黏剂将薄膜的第一表面粘贴于基材上，其中，薄膜的两个相对面中的任一面为第一表面；/n(2)在薄膜的第二表面涂布光阻材料后形成第一光阻层，将带有设定图样的图罩对第一光阻层进行屏蔽，进行照射后形成图样层，所述图样层包括未经照射去除的第一光阻层和经照射去除第一光阻层后露出的薄膜层；/n(3)在步骤(2)形成的图样层镀上一层金属层；/n(4)移除步骤(2)中未经照射去除的第一光阻层，位于第一表面上的金属层形成测试线路；/n(5)在步骤(4)形成的测试线路上涂布一层绝缘材料形成绝缘层，所述绝缘层的高度大于测试线路的厚度，再在绝缘层上涂布光阻材料后形成第二光阻层；通过图罩对第二光阻层进行屏蔽，进行照射后去除位于测试线路上方的第二光阻层，再移除测试线路上方的绝缘层和未经照射去除的第二光阻层，测试线路间形成绝缘层；/n(6)将薄膜从基板上取下后，将第二表面粘贴于基板上，重复步骤(1)-(5)，得到双面具有测试线路和绝缘层的测试片。/n
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